Super X-Ray Area Density Measurement Gauge
Principes van meting
Wanneer de straal de elektrode bestraalt, wordt de straal door de elektrode geabsorbeerd, gereflecteerd en verstrooid. Dit resulteert in een bepaalde demping van de stralingsintensiteit na de doorgelaten elektrode ten opzichte van de intensiteit van de invallende straal. De dempingsverhouding is negatief exponentieel met het gewicht of de oppervlaktedichtheid van de elektrode.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0: Initiële straalintensiteit
I: Stralingsintensiteit na transmissie-elektrode
λ: Absorptiecoëfficiënt van het gemeten object
m : Dikte/oppervlaktedichtheid van het gemeten object
Hoogtepunten van de uitrusting
Vergelijking van halfgeleidersensor- en lasersensormeting
● Meting van gedetailleerde contouren en kenmerken: meting van de oppervlaktedichtheid en ruimtelijke resolutie in millimeters met hoge snelheid en hoge precisie (60 m/min)
● Ultrabreedtemeting: aanpasbaar aan coatingbreedtes van meer dan 1600 mm.
● Ultrahoge scansnelheid: instelbare scansnelheid van 0-60 m/min.
● Innovatieve halfgeleiderstraaldetector voor elektrodemeting: 10 keer snellere respons dan traditionele oplossingen.
● Aangedreven door een lineaire motor met hoge snelheid en hoge precisie: de scansnelheid is 3-4 keer hoger vergeleken met traditionele oplossingen.
● Zelfontwikkelde hogesnelheidsmeetcircuits: de bemonsteringsfrequentie bedraagt maximaal 200 kHz, waardoor de efficiëntie en nauwkeurigheid van de gesloten luscoating worden verbeterd.
● Berekening van het verlies aan verdunningscapaciteit: de vlekbreedte kan tot 1 mm klein zijn. Het kan gedetailleerde kenmerken nauwkeurig meten, zoals de contouren van het verdunningsgebied aan de rand en krassen in de coating van de elektrode.
Software-interface
Aanpasbare weergave van de hoofdinterface van het meetsysteem
● Bepaling van het verdunningsgebied
● Capaciteitsbepaling
● Krasbepaling
Technische parameters
| Item | Parameter |
| Stralingsbescherming | De stralingsdosis op 100 mm van het oppervlak van de apparatuur is minder dan 1 μsv/h |
| Scansnelheid | 0-60 m/min instelbaar |
| Samplefrequentie | 200kHz |
| Reactietijd | <0,1 ms |
| Meetbereik | 10-1000 g/㎡ |
| Vlekbreedte | 1 mm, 3 mm, 6 mm optioneel |
| Meetnauwkeurigheid | P/T≤10%Integraal in 16 seconden: ±2σ: ≤±werkelijke waarde×0,2‰ of ±0,06 g/㎡; ±3σ: ≤±werkelijke waarde×0,25‰ of ±0,08 g/㎡;Integraal in 4 seconden: ±2σ: ≤±werkelijke waarde × 0,4‰ of ±0,12 g/㎡; ±3σ: ≤±werkelijke waarde × 0,6‰ of ±0,18 g/㎡; |
