CDM geïntegreerde dikte- en oppervlaktedichtheidsmeter

Toepassingen

Coatingproces: online detectie van kleine kenmerken van de elektrode; veelvoorkomende kleine kenmerken van de elektrode: vakantie-uithongering (geen lekkage van de stroomafnemer, klein grijs verschil met het normale coatinggebied, falen van de CCD-identificatie), kras, diktecontour van het dunner wordende gebied, AT9-diktedetectie enz.

Stuur ons een e-mail

Productdetails

Productlabels

Principes van meting

Principes van oppervlaktedichtheidsmeting

X/β-stralingabsorptiemethode

Principes van diktemeting

Correlatie en lasertriangulatie

Technische testkenmerken van CDM

Scenario 1: Er is een 2 mm brede strook/tekort op het elektrodeoppervlak en één rand is dikker (blauwe lijn zoals hieronder weergegeven). Wanneer de straalvlek 40 mm is, lijkt de impact van de gemeten originele datavorm (oranje lijn zoals hieronder weergegeven) duidelijk kleiner.

Scenario 2: profielgegevens van dynamisch verdunningsgebied met een databreedte van 0,1 mm

Softwarefuncties

Technische parameters

Naam	Indexen
Scansnelheid	0-18 m/min
Bemonsteringsfrequentie	Oppervlaktedichtheid: 200 kHz; dikte: 50 kHz
Bereik van oppervlaktedichtheidsmeting	Oppervlaktedichtheid: 10~1000 g/m²; dikte: 0~3000 μm;
Meting herhaling nauwkeurigheid	Oppervlaktedichtheid: 16s integraal: ±2σ: ≤±werkelijke waarde * 0,2‰ of ±0,06 g/m²; ±3σ:≤±werkelijke waarde * 0,25‰ of +0,08 g/m²; 4s integraal: ±2σ: ≤±werkelijke waarde * 0,4‰ of ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±werkelijke waarde * 0,6‰ of ±0,18 g/m²;Dikte: 10 mm zone: ±3σ: ≤ ±0,3 μm; 1 mm zone: ±3σ: ≤±0,5μm; Zone van 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Correlatie R2	Oppervlaktedichtheid >99%; dikte >98%;
Laserpunt	25*1400μm
Stralingsbeschermingsklasse	Nationale veiligheidsnorm GB 18871-2002 (stralingsvrijstelling)
Levensduur van radioactief bron	β-straling: 10,7 jaar (Kr85-halfwaardetijd); röntgenstraling: > 5 jaar
Responstijd van de meting	Oppervlaktedichtheid < 1 ms; dikte < 0,1 ms;
Totaal vermogen	<3kW